我国自主光刻技术的发展与挑战，探寻光刻机国产化之路

我国正在积极探寻自主光刻技术的发展，但目前尚不完全具备高端光刻机的自主制造能力。不过，国内已有所突破，在低端及中端光刻机方面已逐步实现国产化。高端光刻机仍是瓶颈，仍需努力攻克技术难关。面对国际竞争与挑战，我国正在加大...

阅读全文 伊人恃宠而骄 5544 次浏览 2024-11-29 新闻动态